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致力于環境量測試、流體測量、微粒子測量等方向的測試設備創新與應用
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氦氣密封性檢測

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  • 產品描述

  • 技術指標

    定量測量范圍(Pa-m3/s) 10ˉ12～10ˉ2
    進氣口排氣速度(He) 1.8L/s(Gross Mode)
    2.0L/s(Middle Mode)
    5.0L/s(-H:Fine Mode)
    進氣口形狀 NW25(ISO)
    主泵 TMD 50L/s
    顯示 彩色液晶

     

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